振鏡掃描系統(tǒng)是由光學掃描器和伺服控制二部分組成。整個系統(tǒng)采用新技術、新材料、新工藝、新工作原理設計和制造。 光學掃描器采用動磁式偏轉工作方式的伺服電機。具有掃描角度大、峰值力矩大、負載慣量大、機電時間常數(shù)小、工作速度快、穩(wěn)定可靠等優(yōu)點。掃描振鏡各個構造的原理詳解
精密軸承消隙機構提供了超底軸向和徑向跳動誤差；“電子扭力棒”取代傳統(tǒng)彈性材料扭力棒，大大提高了使用壽命和長期工作的可靠性；任意位置零功率保持工作原理既降低了使用功耗，又減少了器件的發(fā)熱效應，省卻了恒溫裝置；先進的高穩(wěn)定性精密位置檢測傳感技術提供高線性度、高分辨率、高重復性、低漂移的性能。 光學掃描器分為X方向掃描系統(tǒng)和Y方向掃描系統(tǒng)，每個伺服電機軸上固定著激光反射鏡片。每個伺服電機分別由計算機發(fā)出數(shù)字信號控制其掃描軌跡。
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