激光摻雜的分類有不同的標難。激光打標機按所用激光的波長成分來分，激光摻雜分為單波長法相雙波長法。單波長法使用單波長的激光束作激光摻雜．它以光熱分解或光化學分解的方式使源物質分解產生雜質原子，同時又對襯底定域加熱．使雜質原子得以摻入。雙波長法是同時使用兩束不同波長的激光實現激光化學摻雜。較短波長的激光常以化學分解的方式性源物質分解產生雜質原子，其強度決定摻入襯底的雜質濃度；波長較長的激光起加熱襯底表面的作用，以控制摻雜范圍。雙波長法可以用兩束激光分別控制摻雜濃度和摻雜范圍，單波長法沒有色差、對準等問題．光路調整方便。
按摻雜所用雜質源來分，激光接雜可以分力氣相激光摻雜利固態(tài)雜質源激光摻雜。氣相激光接雜所用的源物質部是氣態(tài)物質，通常是由吸階在襯底表面或碰撞在襯底表面的源氣體分子發(fā)生光熱分解產生雜質原子。固態(tài)雜質源激光摻雜通常是使用源物質的溶液在襯底農面制備固態(tài)摻雜膜，摻雜膜作為擴散源．在激光束照射時以光化學分解或光熱分解的方式分解產生雜質原子。氣相激光摻雜的應用范圍廣，但設備復雜、工藝要求高，源材料的貯存、運輸、使用由相對困難一些。固態(tài)雜質源的激光摻雜對工藝條件要求較低．所需設備簡單，源材料的貯運也方便，激光打標機但適于作激光摻雜的源材料不像氣相源材料那么多，因而使用范圍有限。

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